超高纯过滤器

最大流量

30, 225, 600, 900, 2700 std L/min

根据工艺气体流量需求选择，流量越高，过滤面积越大

端接类型

1/4, 1/2, 3/4 in. 整体式外螺纹面密封及内螺纹面密封

均为金属面密封接头，确保超高纯系统的连接洁净度

壳体长度

3 in. (76.2 mm), 5 in. (127 mm), 11 in. (279 mm)

长度与流量相关：30~600 L/min多配3"壳体，900 L/min配5"，2700 L/min配11"

壳体材料

316L VAR不锈钢

满足SEMI F20高纯材料标准，最低允许延伸率20%

过滤元件

高纯氧化铝陶瓷

多层结构，0.003 µm颗粒去除率 > 99.9999999%

工作压力

最高 3000 psig (206 bar) @ 37°C

差压额定值最高 145 psig (10 bar)

工作温度

最高 50°C (122°F)

受垫片材料（高密度PTFE）限制

内部表面

电抛光，平均粗糙度 5 µin. (0.13 µm) Ra

极光滑表面，减少颗粒附着和水分残留

泄漏率

最大 9×10⁻⁹ std cm³/s (氦气)

设计保证值可达 2×10⁻¹⁰ std cm³/s